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采购靶材的注意事项

2020-05-29

       1、密度,是Z重要的,好的靶材密度至少为97%,所以当你买回钛靶时,你可以根据权重体积计算出你的目标密度与理论块密度之比,不到90%的回报。

钛靶材厂家

       2、裂纹问题,套筒磁靶很容易开裂,所以必须使用铜的后板,这是必要的,另外,靶材料不应太厚,小于5mm是很好的。金属靶不太可能开裂,否则其密度一定很低。

       3、电导,对于AZO,ITO靶材,可以用来测量它们的电导率,不同的公司使用不同的粉末,电导率差别很大,使膜电导率越小一定越好。否则,你将无法达到所需的电阻。

       好的AZO靶材AZO粉末是非常重要的,一般是使用纯AZO粉末,但是价格非常昂贵,而且工艺比较复杂,这样的靶材制成的薄膜电阻是好的。

       目前,钛靶材主要采用ZnO和Al2O3粉末,但问题是Al难以混入ZnO中,所以电阻不好。ITO相似。

       

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