采购靶材的注意事项

2020-05-29

次

1、密度，是Z重要的，好的靶材密度至少为97%，所以当你买回钛靶时，你可以根据权重体积计算出你的目标密度与理论块密度之比，不到90%的回报。

钛靶材厂家

2、裂纹问题，套筒磁靶很容易开裂，所以必须使用铜的后板，这是必要的，另外，靶材料不应太厚，小于5mm是很好的。金属靶不太可能开裂，否则其密度一定很低。

3、电导，对于AZO，ITO靶材，可以用来测量它们的电导率，不同的公司使用不同的粉末，电导率差别很大，使膜电导率越小一定越好。否则，你将无法达到所需的电阻。

好的AZO靶材AZO粉末是非常重要的，一般是使用纯AZO粉末，但是价格非常昂贵，而且工艺比较复杂，这样的靶材制成的薄膜电阻是好的。

目前，钛靶材主要采用ZnO和Al2O3粉末，但问题是Al难以混入ZnO中，所以电阻不好。ITO相似。

金亚鑫官方网站

优质钛材供应商