靶材溅射完之后半边中毒发乌是怎么回事？

2020-06-02

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问题：反应磁控溅射技术堆积氮化锆薄膜。靶材料为2英寸，溅射气体为氩，混响气体为氮气，功率为300W，射频电源已堆积2小时。之后，取出目标，看到标题中描述的场景。这是目标中毒或其他原因，但为什么只需要一半呢？下面钛靶材对溅射靶材料的详细介绍。

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原因分析一：可能与引进射频电源有关

原因分析二：这么小的目标，两英寸？平均冷却

原因分析三：这样一个300W功率的小目标能跟得上冷却吗？我怀疑冷却不足以使一半的头发变黑！

原因分析四：没有冷却。太热了

原因分析五：可能与功率过高有关。我直径60的目标功率只能增加到100瓦左右

原因分析六：两小时内供电是否稳定？可能是能量太高，也可能是目标的一侧接触到接地部分

原因分析7：怀疑气密性能，该集团认为

处置定见1：权利要求1）检查气体平均值；2）一侧是否漏气？

处置定见：建议做一个XPS分析，或者做另一个实验。

结论：综合以上分析，造成目标物中毒的主要原因是高温穿越、供电不稳定、煤气平均值和气密性。检查这些能力的主要原因，并逐步清理它们。

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