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溅射靶材怎么清洗?

2020-06-03

       靶材清洁的目的是清除目标表面可能存在的灰尘或污垢。那么溅射靶材怎么清洗?钛靶材一般可分四步清除:

钛靶材

       1、清洗浸泡在丙酮中的无天鹅绒软布。

       2、类似于用酒精清洗;

       3、用去离子水清洗。用去离子水清洗后,把目标放在烤箱里,在100摄氏度下烘干30分钟。建议用"无天鹅绒布"清洁氧化物和陶瓷靶材。

       4、用高压和低湿度氩冲洗靶材,除去所有可能在溅射系统中产生电弧的杂质颗粒。


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