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靶材清洁的目的是清除目标表面可能存在的灰尘或污垢。那么溅射靶材怎么清洗？钛靶材一般可分四步清除：
1、清洗浸泡在丙酮中的无天鹅绒软布。
2、类似于用酒精清洗；
3、用去离子水清洗。用去离子水清洗后，把目标放在烤箱里，在100摄氏度下烘干30分钟。建议用"无天鹅绒布"清洁氧化物和陶瓷靶材。
4、用高压和低湿度氩冲洗靶材，除去所有可能在溅射系统中产生电弧的杂质颗粒。
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